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        氣體流量測量和校準的原理與實踐
        已閱:2125  2018-08-03
         

        氣體流量測量和校準的原理與實踐


        氣體流量測量和校準的原理與實踐 一、氣體流量校準的基本公式 二、氣體流量校準的基本原理 進行比較法流量測量的重要因素 質量流量與體積流量 : 設備和單位 泄露對測量的影響 建立穩定氣流狀態的重要性 硬件配置注意事項 基標準和二級標準 福祿克流量校準中

        氣體流量測量和校準的原理與實踐
        一、氣體流量校準的基本公式

        二、氣體流量校準的基本原理
        •進行比較法流量測量的重要因素
        •質量流量與體積流量: 設備和單位
        •泄露對測量的影響
        •建立穩定氣流狀態的重要性
        •硬件配置注意事項
        •基標準和二級標準
        •福祿克流量校準中的新內容

        三、基本假定:

        對于順序連接的流量參考設備和被測設備, 通過每個部分的流量是相等的。

        此假設至少依賴于三個因素

        1.測量的量是質量
        2.無泄漏
        3.排除了瞬時影響(穩定狀態流量)

        體積流量和質量流量
        •體積流量是體積比時間:qv=cc/min
        •質量流量是質量比時間:qm=g/min
        •標準質量流量: 質量流量單位常被表示為某種標準狀態下的體積流量單位:
        • sccm, slm, sm3/h 是質量流量單位.
        • cc/min, ccm, or accm 是體積流量單位.
        提示:表示為體積流量單位的質量流量單位是測量誤差的常見來源.

        問題1: 氣體流量測量的根本是基 于質量流量還是體積流量?

        理解標準質量流量單位(sccm, slm)

        在兩種不同壓力和溫度條件下(密度)的1      毫升(cc) 體積

        每個體積內的質量(分子數量)是不同的. 標準狀態毫升(standard   cubic     centimeter,  scc) 定義標準狀態下(壓力和溫度)每毫升的質量

        為什么是質量流量?
        幾乎所有的氣體流量都依據于質量流量,不是體積流量.
        質量流量對一下應用是非常重要的:
        • 運輸監護
        • 氣體混合
        • 化工 / 生物反應
        • 泄漏率監測
        • 化學蒸汽沉積 / 蝕刻...
        質量流量對體積流量
        質量流量是守恒的:        qm1 = qm2



        在密閉系統中,氣體密度隨溫度和壓力的變化而改變。

        必須知道氣體密度才能進行準確、直接的氣體流量比較測量!

        問題2: 可否使用質量流量標準器 對體積流量儀表進行校準?

        質量流量對于體積流量

        qm   =       qv     ρ



         
         

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